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蒋志贤 先生
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发布时间:2022-04-03 04:58:29
洁净室之分类
乱流式(Turbulent Flow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。净化工程洁净室并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
净化工程的行业应用
净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。
目前级别高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。
净化车间
另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
随着电子元器件向微小化方向发展,液晶面板已经升级至第八代,行业需求非常巨大。
净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。无菌器械是任何标明“无菌”的器械,生产洁净室是保证无菌器械质量的基本条件,控制无菌器械生产过程的环境并规范其生产,防止环境对无菌器械污染,洁净室必须满足规定环境参数的要求来建设和定期监测。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
无尘室对工业生产有什么影响?
现代经济发展迅速,以微电子、生物工程、精密机加为代表的科学实验和高科技生产过程,对产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性提出了更高的要求。实际检测过程中发现,在通过调节支管风阀对某间换气次数不合格洁净室进行送风量调节时,往往会使同一洁净区其余的洁净室送风量改变,即打乱了整个洁净区的风量分配,从而使问题变得更为复杂。室内生产环境不仅关系到从业人员生产活动中的健康和舒适性,而且关系到生产效率、产品质量,乃至生产过程能否进行的重要问题。
无尘室对室内环境对生产过程的影响如下:
(1)对生产过程产生重要影响
室内生产环境是制约工业生产,特别是高科技生产能否进行的关键因素之一。例如,在微电子行业的芯片生产过程中,对微粒的控制要达到分子级,否则生产就无法进行,或者生产出次品;在kang菌素的生产环境中,如果存在某些微生物,生产就不能正常进行。
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