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净化工程——洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。净化工程施工安装以及风管及附件的制作、设备和管道的安装、检查验收等应符合有关规定。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

净化工程——洁净室防静电

洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。

所谓静电，是由于摩擦等原因***了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。静电电引起的静电电ji，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电ji而摔倒，由摔倒又致伤)；

净化洁净工程

送风量、换气次数

器械净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定，首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求，同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量，在此基础上对gao效过滤器进行选用。随着电子元器件向微小化方向发展，液晶面板已经升级至第八代，行业需求非常巨大。过滤器的处理风量应小于或等于额定风量，设置在同一洁净区内的gao效 ( 亚gao效、超gao效 ) 空气过滤器的阻力、效率宜接近。

通常洁净室的送风量，应取以下 3 项中的大值 ：为保证空气洁净度等级的送风量 ；根据热、湿负荷计算确定的送风量 ；向洁净室nei供给的新鲜空气量。而新鲜空气量应取下列 2 项中的大值 ：补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 ；保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。净化工程适用范围适用范围：车间、办公室阁墙、钢结构房外墙维护、装饰建材、活动房办公楼等岩棉夹芯彩钢板是由天然的岩石，高炉铁矿渣等经高温熔化成丝，再经过固化成型。