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净化工程洁净室

并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。    洁净工作台：等级Class 1~100级。     洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高ji之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

净化工程——洁净室防静电

洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。

所谓静电，是由于摩擦等原因***了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。静电电引起的静电电ji，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电ji而摔倒，由摔倒又致伤)；设备的自动监测仪表要集中控制，阀门控制尽量集中，便于工人操作。

净化工程——静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作； 静电放电的发光可导致照相肢片等感光***；静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；承担车间净化工程系统的施工企业，应按净化车间工程的整体施工程序、计划进度安排施工。

净化工程——洁净室

洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的da值；

1、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。

2、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。

3、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

四、洁净室正压控制

1、洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于10Pa。