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净化工程洁净室的分类

垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式：(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要，为照亮整个被照面积而设置的照明。   缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。    

 (1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。  此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。无菌器械是任何标明“无菌”的器械，生产洁净室是保证无菌器械质量的基本条件，控制无菌器械生产过程的环境并规范其生产，防止环境对无菌器械污染，洁净室必须满足规定环境参数的要求来建设和定期监测。  (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。    

无尘车间等级划分

无尘车间等级划分 半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在半导体工

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。为了让这些的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘车间内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的***，多因为需要一个无尘车间。